半导体OHT(Overhead Hoist Transport，空中走行式无人搬运车)聚氨酯车轮是半导体制造工厂自动化物料搬运系统中的关键部件，其性能直接影响生产效率和产品质量。以下从材料特性、结构设计、功能优势、应用场景及维护保养等方面进行详细介绍：
一、材料特性
1、聚氨酯材质
高耐磨性：聚氨酯的耐磨性是橡胶的3-5倍，适用于高频率、长距离的物料搬运，减少车轮磨损和更换频率。
低滚动阻力：聚氨酯材料可降低车轮与轨道间的摩擦力，提升OHT运行效率，降低能耗。
抗撕裂性强：在半导体工厂的复杂环境中，聚氨酯车轮可承受较大的冲击载荷，避免因撕裂导致的停机事故。
化学稳定性：对半导体制造中常用的酸碱溶液、有机溶剂等具有优异的耐腐蚀性，延长车轮使用寿命。
2、防静电设计
聚氨酯材料中添加导电炭黑或金属纤维，使车轮表面电阻率控制在106-109Ω，有效防止静电积累，避免对半导体晶圆造成静电损伤。
3、低产尘特性
车轮表面光滑，不易产生微粒脱落，且聚氨酯材料本身不释放挥发性有机化合物(VOCs)，满足半导体工厂Class 10-100洁净室要求。
半导体OHT聚氨酯车轮
二、结构设计
1、轮毂与包胶工艺
轮毂材质：通常采用铝合金或不锈钢，轻量化设计降低OHT整体能耗，同时保证足够的结构强度。
包胶工艺：采用浇注型聚氨酯(CPU)包胶技术，使聚氨酯层与轮毂紧密结合，避免脱胶现象。包胶厚度一般为10-20mm，可根据负载需求调整。
2、轮缘与胎面设计
轮缘形状：采用圆弧形或直边轮缘设计，减少与轨道的侧向摩擦力，降低噪音和振动。
胎面花纹：胎面设计有细密的横向或纵向沟槽，提升排水性和防滑性能，同时减少产尘。
3、轴承与润滑
内置高精度深沟球轴承或角接触球轴承，采用免维护密封设计，防止灰尘和湿气侵入。
轴承润滑脂选用耐高温、长寿命的合成油，确保在-20℃至80℃环境下稳定运行。
三、功能优势
1、高精度运行
聚氨酯车轮的低弹性变形特性使OHT在高速运行(通常为1-3m/s)时仍能保持±0.1mm的定位精度，满足半导体设备对物料搬运的高精度要求。
2、低噪音与振动
车轮与轨道间的软接触设计，使OHT运行噪音低于60dB(A)，减少对生产环境的干扰。
3、长寿命与低维护
在正常工况下，聚氨酯车轮的使用寿命可达5-8年，维护周期延长至1年以上，显著降低停机时间和维护成本。
4、适应复杂环境
车轮可在-20℃至80℃的温度范围内稳定运行，并耐受85%RH的高湿度环境，适应半导体工厂的温湿度波动。
四、应用场景
1、晶圆搬运
在半导体前道工艺中，OHT通过聚氨酯车轮将晶圆盒(FOUP)在不同工艺设备间高效、稳定地搬运，避免晶圆因振动或静电而损坏。
2、洁净室环境
适用于Class 10-100洁净室，满足半导体制造对微粒控制和洁净度的严格要求。
3、重载与高速工况
可承载最大500kg的负载，并在高速运行时保持平稳性，适用于大批量、高效率的半导体生产线。
半导体OHT聚氨酯车轮凭借其优异的耐磨性、防静电性能和低产尘特性，成为半导体制造工厂自动化物料搬运系统的核心部件。其高精度、低噪音和长寿命的特点，显著提升了生产效率和产品质量，同时降低了维护成本。随着半导体制造技术的不断发展，聚氨酯车轮的性能和应用范围将进一步拓展，为半导体行业的高效生产提供有力支持。
