OHT 高空运输机聚氨酯包胶轮通过有效抑制静电积累，将晶圆传输过程中的静电污染风险降低，某 12 英寸晶圆厂应用后光刻工艺良率提升 0.5%，年收益增加数百万美元。
核心原理
1、导电材料复合：聚氨酯基体中添加导电炭黑或金属纤维，形成三维导电网络，使车轮表面电阻率稳定在 10⁶ - 10⁹Ω 区间，符合半导体行业防静电标准(ANSI/ESD S20.20)。
2、静电动态消散：在 OHT 系统高速运行(1 - 3m/s)时，车轮与轨道摩擦产生的静电荷通过导电网络实时导入接地系统，避免电荷在晶圆盒(FOUP)表面累积。
技术优势
1、防静电与机械性能平衡：
表面电阻率精准控制：通过调整导电填料比例，在确保防静电性能的同时，维持聚氨酯基体的耐磨性(耐磨指数 ≤0.05cm³/1.61km)和抗撕裂强度(比橡胶轮高 40%)。
低产尘设计：车轮表面粗糙度 Ra ≤0.1μm，配合聚氨酯材料的低挥发性有机化合物(VOC)释放特性，满足 Class 10 - 100 洁净室要求。
2、环境适应性：
温湿度耐受范围：-20℃ 至 80℃ 温度、85%RH 湿度下性能稳定，适应半导体工厂昼夜温湿度波动。
化学稳定性：耐受光刻胶、显影液、刻蚀液等工艺化学试剂，避免因腐蚀导致导电网络失效。
防静电聚氨酯包胶轮
典型应用场景
1、晶圆盒(FOUP)搬运：
承载重量：500kg(满载 FOUP)，通过高刚性铝合金轮毂与聚氨酯包胶层的复合结构，确保重载下防静电性能稳定。
振动控制：低弹性变形特性使 OHT 系统搬运振动幅度 ≤0.05mm，保障光刻机等设备的 24 小时精准对位。
2、光刻机设备搬运：
减震性能：振动传递率 <5%，保护设备内部精密部件(如镜头、光栅)免受静电放电(ESD)与机械振动的双重损伤。
洁净度保障：车轮与轨道软接触设计，运行噪音 <60dB，减少颗粒脱落风险。
实施效果
1、良率提升机制：
静电污染防控：避免晶圆表面吸附带电颗粒，降低光刻胶涂布缺陷率。某晶圆厂数据显示，应用防静电聚氨酯轮后，光刻工艺中因静电导致的图形畸变缺陷减少 37%。
设备稳定性增强：减少 ESD 引发的 OHT 系统急停事故，使设备综合效率(OEE)提升 8%。
2、经济效益量化：
某 12 英寸晶圆厂案例：良率提升 0.5% 对应年增产 1.2 万片晶圆(按 24 万片/年产能计)，以单片 500 美元产值估算，年收益增加 600 万美元。
维护成本降低：车轮更换频率从每月 1 次降至每年 1 次，单台 OHT 年维护成本减少 2.4 万元(按每次更换成本 2000 元、单线 12 台 OHT 计)。
OHT高空运输机采用防静电聚氨酯包胶轮，通过导电材料复合技术实现静电动态消散，在晶圆搬运中有效抑制静电污染，降低光刻缺陷率。某12英寸晶圆厂应用后，良率提升0.5%，年增收数百万美元，同时减少设备急停与车轮更换频率，兼具防静电性能与机械稳定性，成为半导体制造洁净运输的关键技术。
